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程控精密勻膠機

簡要描述:HC160PE 程控精密勻膠機是一種既可用于精密勻膠操作,又可用于半導體顯影和清洗的臺面式設備,它可以實現價值百萬美元設備(track)的上才可能達到穩定性和均勻性

  • 產品型號:HC160PE
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2022-01-04
  • 訪  問  量:1319

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詳細介紹

可編程精密勻膠機

型號:HC160PE

   

    HC160PE程控精密勻膠機,采用高級PLC 全自動程序控制,轉速精度高,穩定性好??捎糜谖㈦娮?、半導體、新能源、生物材料、納米材料等領域高精度薄膜涂層的制備。

特點:

l  設計緊湊,可放置在手套箱內;

l  4.3英寸彩色觸屏控制,人機界面;

l  不銹鋼外殼,美觀耐腐蝕;

l  CNC一體加工成型的HDPE內腔,耐腐蝕,易清潔,帶排廢功能;

l  內腔壁采用*的凹面設計,有效防濺;

l  高級PLC全自動程序控制,可編程;

l  帶真空度安全互鎖檢測功能;

l  帶蓋子安全互鎖檢測功能;

l  帶排廢接口;

l  配置一個自動點膠接口,可升級自動點膠系統;

l  可設置用戶密碼保護功能;

l  配置可調基座,方便調節水平;

技術參數:

l  適用晶元尺寸范圍:?10~160mm;

l  旋涂速度:100~12000rpm;

l  轉速分辨率:1rpm;

l  旋涂加速度:100-30000rpm/s;

l  旋涂時間:3000s;

l  旋涂時間精度:0.1s;

l  內腔直徑220mm,內腔壁采用*的凹面防濺設計;

l  具備單步快速旋涂和多步編程旋涂,可編程100組程序,每組程序10步;

l  電源輸入:AC200-230V;

設備外形尺寸:XX高:310X254X250mm

HC160PE程控精密勻膠機

HC160PE程控精密勻膠機



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