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安賽斯程控勻膠機

簡要描述:名 稱:安賽斯程控勻膠機
安賽斯程控勻膠機12英寸是一種小型、靈活和經濟的旋轉勻膠設備,它可以實現價值百萬美元設備(track)的上才可能達到穩定性和均勻性。

  • 產品型號:12英寸
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2021-09-16
  • 訪  問  量:1235

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詳細介紹

產品介紹:



 稱:安賽斯程控勻膠機

 號:12英寸

應  用:安賽斯程控勻膠機勻膠機是一種小型、靈活和經濟的旋轉勻膠設備,它可以實現價值百萬美元設備(track)的上才可能達到穩定性和均勻性。



產品概述:



  安賽斯程控勻膠機是一種小型、靈活和經濟的旋轉勻膠設備,它可以實現價值百萬美元設備(track)的上才可能達到穩定性和均勻性。

  不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀;工業級別400瓦伺服電機系統,采用于track設備相同設計和程序,使您的工藝更具有實際應用意義;同類產品中大達到50000rpm/s的旋轉加速度,確保旋轉勻膠的穩定性和*的可重復性。



性能參數:



l  主機機箱采用不銹鋼材料(抗化學腐蝕易清潔)

l  旋涂程序:多存100組程序,每組100步,每個步驟可0.1

l  轉動速度:0-5,000rpm(更高速可選),考慮重片或大片旋涂安全性限定為5000rpm

l  旋涂加速度:0-10,000rpm/sec(更高可選),考慮重片或大片旋涂安全性限定為10000rpm/s

l  馬達旋涂轉速穩定性能誤差 < ±1rpm

l  轉速調節精度<1rpm,重復性< 1rpm

l  工藝時間設定: 0-3,000 sec/step,時間設置精度:0.1sec

l  支持wafer尺寸1cm-300mm12“圓晶)

l  旋涂作業均勻性:< ±3% 6英寸范圍內(需要去除邊緣3毫米區域測量)



產品特點:



l  內部緊湊設計,縮小了設備的尺寸。

l  7"觸屏控制面板操作系統,更方便操作。

l  Telon ®/polyethylene “密閉碗"設計可適合各種材料勻膠工藝。

l  標準配置轉速5000rpm,并可根據用戶需要進行定制。

l  采用工業級別伺服電機,電機設計避免光刻膠等污染物進入電機內部。

l  機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼,不會生銹,便于清洗。

l  透明可視,耐化學腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業時*隔絕光刻膠的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發。




產品外型尺寸:613mm(D) * 463mm(W) * 306mm(H)



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